电子特种气体行业经过国内发展通过不断的技术改革和经验的积累，业内领先企业在产品上的自我突破，已达到国际标准。

       在国内市场的发展潜力较大，气体的需求也日益增加。工业气体的种类繁多,主要包括氮气、氧气、氢气、二氧化碳等。 特种气体品质较多，其中主要包括电子特种气体、高纯气体、标准气体等。工业气体是一种瓶装液态气体，在常温常压下呈气态，气体种类繁多，主要用于各种工业制造方面。

       从目前产业链上来看，工业气体产业的上游包括空气及工业废气原料、基础化学原料行业、气体分离设备制造业等等，下游主要应用于钢铁、石油化工、电子行业、食品行业等等。

       电子特气在集成电路、显示面板、化合物半导体器件等电子工业生产中是不可或缺的原材料。根据华经产业研究院的统计2020年中国电子特气应用市场结构，集成电路制造占比最高，约占总体电子特气市场的44%。显示面板领域占比约35%，太阳能电池领域占比约13%，LED及其他领域占比约8%。随着半导体行业的快速发展，电子特气的种类、数量仍在不断增加。

       电子气体广泛应用于半导体制程工艺，电子大宗气体通常用于气体稀释、腔体清洁、腔体排气等环节。不同类型的电子特气根据不同的物理化学性质应用于不同的工艺环节，包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。可以说，电子气体几乎用于集成电路制造的每一个环节，是集成电路制造的血液。

       工业气体用量正在掘起的产业有：煤矿灭火 、石油开采、煤气化和煤液化，玻璃熔化炉、水泥生产窑、耐火材料生产窑，砖瓦窑等工业炉窑、食品速冻，食品气调包装、啤酒保鲜、光学、国防工业中的燃料、超导材料生产、电子、半导体、光纤生产、农业、畜牧业、鱼业、废水处理、漂白纸浆、垃圾焚烧、粉碎废旧轮胎等环保产业、建筑、气象、文化、文物保护、体育运动、公安破案、医疗保健产业中的冷刀、重危病人吸氧、高压氧冶疗、人体器管低温冷藏 、麻醉技术及氧吧等。

       电子气体的生产过程包括分析检测、合成、提纯、充装、混合配比等多个工艺流程。为了满足下游半导体制造的纯度和杂质含量要求，提纯工艺非常重要，根据上游合成气或原料气组成，进行低温精馏或多级纯化。

       在气体制备过程中，需要同时满足高洁净度、高密封性、高稳定可靠性的要求。洁净度方面，上游合成制备属于化工生产过程，无特殊洁净度要求，气体经过提纯后，进行气体冲入和混合制备需要满足下游集成电路制造工艺的标准规范。密封性方面，由于具有化学活性，电子气体，尤其是电子特气在生产过程中对系统材料与半导体制造要求保持一致，防止引入杂质或气体腐蚀引起泄漏、污染等危害。稳定可靠性方面，电子特气的品质指标包括纯度、杂质颗粒含量等，指标的任何变化都会影响下游半导体制造的结果。因此，为保证电子特气产品的一致性，对气体制备工艺系统的控制指标稳定性要求也非常重要。